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超纯水如此高的指标要求,背后是极为复杂和精细的制备工艺。在国内,高频科技是极少数能够在芯片领域提供超纯水系统的企业,亦是国内首家具备12英寸14nm芯片产线超纯水制备能力的系统供应商。该公司长期专注超纯水领域,依托资深的技术团队,经过持续研发投入与工艺探索,其超纯水系统制备的超纯水纯度可达ppt级别,离子含量仅万亿分之一,充分满足了下游客户生产全阶段的超纯水需求,为半导体良率和生产效率的提升提供了强力支撑。
半导体是“耗水大户”,且随着工艺日趋先进,对其表面清洁程度要求不断提高,耗水量也随之增加。以每月生产4万片200mm晶圆的工厂为例,其日用水量可达到8000至10000吨。而当技术节点推进至16nm甚至7nm时,同等产能的12英寸晶圆厂每日用水量将激增至约2万吨。如何在保障超纯水供应的同时,实现水资源的节约和高效利用,已成为全球半导体行业面临的共同挑战。在此背景下,高频科技凭借其创新研发的回用水系统,为解决这一难题提供了新的思路和解决方案。